发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING ELECTRIC CIRCUIT HAVING PROBE
摘要
申请公布号 JPH08178959(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940336549 申请日期 1994.12.22
申请人 A C II:KK 发明人 ATSUMI HARUO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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