| 发明名称 |
FORMATION OF SIMULATED PATTERN THAT AVOIDS BREAKAGE OF INSULATION FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08181127(A) |
申请公布日期 |
1996.07.12 |
| 申请号 |
JP19950160717 |
申请日期 |
1995.06.27 |
| 申请人 |
GENDAI DENSHI SANGYO KK |
发明人 |
SON KIKON;KOU SHIYOUKI;GO SEIJIYUN;KOU ZAIKAN;GU EIBO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/301;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
