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发明名称 THIN FILM DEPOSITING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08181075(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940322654 申请日期 1994.12.26
申请人 NEC CORP 发明人 TSUDA KOJI
分类号 C30B23/08;C23C14/48;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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