发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08181221(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940322683 申请日期 1994.12.26
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 KUSUMI TAKEO
分类号 H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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