| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING DIFFUSION FILM ON SURFACE OF STEEL PLATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08180998(A) |
申请公布日期 |
1996.07.12 |
| 申请号 |
JP19940322393 |
申请日期 |
1994.12.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
ASAHARA YUJI;KURITA KOICHI;KATO MITSUO |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C8/26;C23C8/36;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
