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发明名称 Verfahren zur Bearbeitung von Siliziumwafern
摘要
申请公布号 DE4223215(C2) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 DE19924223215 申请日期 1992.07.15
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 KUMMER, NILS, DIPL.-ING. (FH), 7140 LUDWIGSBURG, DE;BREITSCHWERDT, KLAUS, 7024 FILDERSTADT, DE
分类号 C30B33/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/308;C09J133/06 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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