METHOD OF TESTING CONNECTIONS PRODUCED USING ULTRASONIC WIRE BONDING

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen von durch Ultraschalldrahtbonden hergestellten Verbindungen, bei welchem die Festigkeit der Verbindung als massgebende Grösse für die Bondgüte ermittelt wird. Es wird vorgeschlagen, dass als für die Festigkeit der Verbindung massgebende Parameter die Geschwindigkeit bzw. der zeitliche Verlauf der Drahtdeformation und der zeitliche Verlauf der Bondkeilamplitude während des Bondvorgangs erfasst und durch Vergleich mit in einem Prozesssicherungsbaustein gespeicherten, einem vorgegebenen Qualitätsstandard entsprechenden Daten bewertet werden. Dadurch ist es möglich, dass jede einzelne Verbindung ohne zusätzlichen Zeitaufwand störungsfrei auf Festigkeit geprüft werden kann.