CVD-Anlage und Verfahren zum Herstellen geglühter Filme,申请号DE1991619989-传众专利搜索

发明名称	CVD-Anlage und Verfahren zum Herstellen geglühter Filme
摘要
申请公布号	DE69119989(D1)	申请公布日期	1996.07.11
申请号	DE1991619989	申请日期	1991.07.19
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	MIYASHITA, NAOTO, INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;TAKAHASHI, KOICHI, INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;KOYAMA, MITSUTOSHI, INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;NUNOTANI, SHINJI, INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;YANAGIYA, SATOSHI, INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;BABA, YOSHIRO, INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号	H01L21/205;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/54;C30B25/10;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/73;(IPC1-7):C23C16/44;C30B31/10	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
地址