发明名称 SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 KR960005682(Y1) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 KR19930015491U 申请日期 1993.08.12
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD. 发明人 JUNG, KWAN - HO
分类号 H01L21/52;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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