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发明名称 S.O.R.-Belichtungssystem
摘要
申请公布号 DE68925604(T2) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 DE19896025604T 申请日期 1989.09.04
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 UDA, KOJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TANAKA, YUTAKA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MORI, TETSUZO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SHIMODA, ISAMU, ZAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UZAWA, SCHUNICHI, SETAGAYA-KU TOKYO, JP
分类号 H05H13/04;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 H05H13/04
代理机构 代理人
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