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发明名称 Verfahren zur Herstellung von dünnen Siliziummesas mit gleicher Dicke
摘要
申请公布号 DE69302960(D1) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 DE1993602960 申请日期 1993.03.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DOERRE, GEORGE WILLIAM, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12603, US;OGURA, SEIKI, HOPEWELL JUNCTION, NEW YORK 12533, US;ROVEDO, NIVO, LAGRANGEVILLE, NEW YORK 12540, US
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/84;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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