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发明名称
METHOD FOR GENERATION TOPOLOGY OF INTEGRAL MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号
RU1834588(C)
申请公布日期
1996.07.10
申请号
SU19894765465
申请日期
1989.12.07
申请人
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT TOCHNOGO MASHINOSTROENIYA
发明人
BURAVTSEV A.T.;SATAROV G.KH.;MOZHAROV L.M.;SHEVCHENKO A.I.;BERESTENKO M.K.;BOKOV YU.S.;MSHENSKAYA T.A.
分类号
H01L21/312;G03F7/26;(IPC1-7):H01L21/312
主分类号
H01L21/312
代理机构
代理人
主权项
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