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发明名称
POSITIVE WORKING RESIST COMPOSITIONS AND THEIR UTILITY IN DRY FILM PHOTORESISTS
摘要
申请公布号
EP0524187(B1)
申请公布日期
1996.07.10
申请号
EP19910904946
申请日期
1991.02.25
申请人
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
发明人
BAUER, RICHARD, DOUGLAS;CHEN, GWENDYLINE, YUAN, YU;HERTLER, WALTER, RAYMOND;WHELAND, ROBERT, CLAYTON
分类号
C08L33/00;C08L33/04;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039
主分类号
C08L33/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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