发明名称 POSITIVE WORKING RESIST COMPOSITIONS AND THEIR UTILITY IN DRY FILM PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0524187(B1) 申请公布日期 1996.07.10
申请号 EP19910904946 申请日期 1991.02.25
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 BAUER, RICHARD, DOUGLAS;CHEN, GWENDYLINE, YUAN, YU;HERTLER, WALTER, RAYMOND;WHELAND, ROBERT, CLAYTON
分类号 C08L33/00;C08L33/04;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 C08L33/00
代理机构 代理人
主权项
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