发明名称 Kontrolle der Gross-Skale-Topografie auf Siliciumsubstraten
摘要
申请公布号 DE69207330(T2) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 DE19926007330T 申请日期 1992.09.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DAVIDSON, JOANNE M., POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12603, US;HREBIN, GEORGE, JR., VERBANK, NEW YORK 12585, US;LEWIS, ROBERT K., WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US;ORNER, CARL H., NEWBURGH, NEW YORK 12550, US
分类号 G01R31/26;G01B7/34;G01B11/30;G01B21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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