| 发明名称 |
Method of growing compound semiconductor layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2296816(A) |
申请公布日期 |
1996.07.10 |
| 申请号 |
GB19950025678 |
申请日期 |
1995.12.15 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HIROTAKA * KIZUKI;YASUTOMO * KAJIKAWA |
| 分类号 |
C30B29/38;C30B29/48;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L33/12;H01L33/16;H01L33/32;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/20;C23C16/22 |
主分类号 |
C30B29/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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