发明名称 Laser interferometer with linear array of photodetector elements
摘要
申请公布号 GB2296766(A) 申请公布日期 1996.07.10
申请号 GB19960000205 申请日期 1996.01.05
申请人 * RENISHAW PLC 发明人 RAYMOND JOHN * CHANEY;MARK ADRIAN VINCENT * CHAPMAN
分类号 G01B9/02;G01J9/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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