一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量装置

摘要

本发明涉及一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量装置，属于真空计量技术领域。包括供气系统、变容室、隔断阀门、参考室管道、绝对式压力计、差压式压力计、平动机构、标准容器、真空阀门和抽气系统。供气系统通过一个真空阀门与参考室管道相连，抽气系统通过一个真空阀门与参考室管道相连，绝压式压力计与参考室管道相连；差压式压力计一端与参考室管道相连，另一端与变容室管道相连；波纹管一端与平动机构相连，波纹管另一端通过一个真空阀门与变容室管道相连；标准容器通过一个真空阀门与变容室管道相连；变容室管道与参考室管道间通过隔断阀门相连。该装置可进行原位测量，并可在工作状态下重复测量。

主权项

1、一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量装置，其特征在于包括供气系统、变容室、隔断阀门、参考室管道、绝对式压力计、差压式压力计、平动机构、标准容器、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门和抽气系统，其中，变容室包括波纹管和变容室管道。供气系统负责提供测试气体；变容室用于容纳气体，其中，波纹管用于调节变容室中的压力，变容室管道用于连接波纹管和标准容器；隔断阀门用于将参考室管道和变容室管道隔开；参考室管道用于容纳气体，保持参考气体压力不变；绝对式压力计用于测量参考室和变容室的绝对压力；差压式压力计用于记录隔断阀关闭后参考室管道和变容室管道之间的相对压力变化；平动机构用于在轴向压缩或拉伸波纹管，使变容室容积发生变化、变容室内的气体压力发生变化；标准容器用于变容室气体膨胀，产生压力差，测量变容室体积；抽气系统负责完成对参考室管道、变容室和标准容器的抽真空操作；