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发明名称 Method of forming a thin film pattern with a trapezoidal cross section
摘要
申请公布号 EP0459252(B1) 申请公布日期 1996.07.10
申请号 EP19910108046 申请日期 1991.05.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HARAGUCHI, HIROSHI;TSUJI, HITOSHI;OTANI, YASUTO;KUMAMARU, KUNIAKI
分类号 H01L21/02;H01L21/302;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/3065;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/321;G03F7/09 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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