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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR-DEPOSITING HIGHLY IONIZED MEDIUM IN ELECTROMAGNETICALLY CONTROLLED ENVIRONMENT
摘要
申请公布号
JPH08176807(A)
申请公布日期
1996.07.09
申请号
JP19950149563
申请日期
1995.05.24
申请人
DEPOJITETSUKU INC
发明人
REI DEIIN RASUTO
分类号
C23C14/32;C23C14/56;H01J37/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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