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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG VON EPITAXIALSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE69027206(D1) 申请公布日期 1996.07.04
申请号 DE1990627206 申请日期 1990.12.14
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ICHIKAWA, TAKESHI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;MIZUTANI, HIDEMASA CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP
分类号 C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;C30B23/02;C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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