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经营范围
发明名称
Einrichtung zur Molekularstrahlepitaxie
摘要
申请公布号
DE68926577(D1)
申请公布日期
1996.07.04
申请号
DE19896026577
申请日期
1989.03.23
申请人
ROHM CO. LTD., KYOTO, JP
发明人
TANAKA, HARUO, C/O ROHM CO., LTD., UKYO-KU, KYOTO, JP;MUSHIAGE, MASATO, C/O ROHM CO., LTD., UKYO-KU, KYOTO, JP;ISHIDA, YUHJI, C/O ROHM CO., LTD., UKYO-KU, KYOTO, JP
分类号
C23C14/56;C30B23/02;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):C30B23/02;C30B29/40
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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