发明名称 Fuse structure e-fuse comprising the fuse structure and semiconductor device comprising the e-fuse
摘要 퓨즈 구조체가 제공된다. 퓨즈 구조체는 제1 방향으로 연장되어 형성되되, 일정간격 이격되어 일단이 서로 마주보도록 형성된 제1 및 제2 전극, 마주보는 제1 전극의 일단과 제2 전극의 일단 사이에 형성된 절연막, 및 제1 및 제2 전극의 일부와 오버랩되며 절연막 상부에 형성되되, 제1 및 제2 전극과 접촉되어 형성된 도전막을 포함한다.
申请公布号 KR101631452(B1) 申请公布日期 2016.06.17
申请号 KR20100052327 申请日期 2010.06.03
申请人 삼성전자 주식회사 发明人 김성호;박원모;김길섭;송호주
分类号 H01L23/62 主分类号 H01L23/62
代理机构 代理人
主权项
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