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发明名称
摘要
申请公布号	JP2513402(B2)	申请公布日期	1996.07.03
申请号	JP19930128024	申请日期	1993.05.01
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	GOTO YOSHIRO
分类号	H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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