| 摘要 |
<p>Informationssystem zur schnellen Produktionskontrolle, insbesondere bei der Herstellung von monolithisch integrierten Halbleiterschaltungen, mit Einrichtungen (1) zur Erfassung produkt- und herstellungsspezifischer Daten (d) und zu ihrer Übertragung auf eine Datenbank (2). Über Auswerteeinrichtungen (3), die mit der Datenbank (2) gekoppelt sind, werden die gespeicherten Daten (d) mittels einer Vielzahl von programmierbaren Testprofilen analysiert. Bei Überschreitung vorgegebener Grenzwerte wird sofort mittels eines elektronischen Briefkastensystems eine elektronische Meldung (m1,m2,m3) an mindestens eine dem jeweiligen Testprofil zugeordnete Empfangsstation (5,6,7) gesendet, um dort eine Kontrolle des Prüf- oder Herstellungsvorganges einzuleiten. <IMAGE></p> |
