| 发明名称 |
Method of and apparatus for electrostatically coating photoresist film with particles of selected grain size |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2296455(A) |
申请公布日期 |
1996.07.03 |
| 申请号 |
GB19950025655 |
申请日期 |
1995.12.15 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. |
发明人 |
IK BOUM * HUR |
| 分类号 |
B05B5/025;G03F7/16;(IPC1-7):B05D1/04 |
主分类号 |
B05B5/025 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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