| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08172085(A) |
申请公布日期 |
1996.07.02 |
| 申请号 |
JP19950227256 |
申请日期 |
1995.08.11 |
| 申请人 |
FURENDOTETSUKU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
MIYAMOTO SHUICHI;SUGANE KOJIROU;YAMADA NORITSUGU |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
