| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08172069(A) |
申请公布日期 |
1996.07.02 |
| 申请号 |
JP19940314939 |
申请日期 |
1994.12.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
INANAGA KAZUHIKO;NAKAHATA TAKUMI |
| 分类号 |
C23C14/58;C23C28/00;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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