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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM DEFLECTOR
摘要
申请公布号
JPH08171881(A)
申请公布日期
1996.07.02
申请号
JP19940314461
申请日期
1994.12.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATO SHINICHI
分类号
H01J37/147;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/147
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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