MANUFACTURING METHOD OF ETCHING TRENCH,申请号JP19940333681-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURING METHOD OF ETCHING TRENCH
摘要
申请公布号	JPH08172070(A)	申请公布日期	1996.07.02
申请号	JP19940333681	申请日期	1994.12.16
申请人	TAKAOKA ELECTRIC MFG CO LTD	发明人	IKEDA RYOTA
分类号	C23F1/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	C23F1/00
代理机构		代理人
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