| 发明名称 |
BY-PRODUCT TRAP DEVICE AND CLEANING THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08172083(A) |
申请公布日期 |
1996.07.02 |
| 申请号 |
JP19940334165 |
申请日期 |
1994.12.16 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SHINOZUKA SHUHEI;UCHIYAMA MIYUKI;MIYOSHI KAORI |
| 分类号 |
B01D8/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
B01D8/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
