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发明名称 TEMPERATURE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH08171428(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19940313723 申请日期 1994.12.16
申请人 KOMATSU ELECTRON KK 发明人 KIMURA TEISHI;KAIDO HIDEAKI
分类号 F28D1/00;G05D23/20;H01L21/02;(IPC1-7):G05D23/20 主分类号 F28D1/00
代理机构 代理人
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