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发明名称
PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08170180(A)
申请公布日期
1996.07.02
申请号
JP19940315326
申请日期
1994.12.19
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
SASAMURA YOSHITAKA;MATSUDA KOJI
分类号
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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