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发明名称 Cryopump and a method for the operation thereof
摘要
申请公布号 US4757689(B1) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 US19860922034 申请日期 1986.10.22
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BAECHLER WERNER;FORTH HANS-JOACHIM;KLEIN HANS-HERMANN;STRASSER WILHELM
分类号 F04B37/08;(IPC1-7):B01D8/00 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
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