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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08172200(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19940316590 申请日期 1994.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUBOI NOBUYUKI;HIROSE TAKASHI;KOBAYASHI IKUNORI;TAMURA TATSUHIKO
分类号 H01L21/306;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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