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发明名称 FIELD OXIDIZED FILM FORMATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH08172088(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19950167354 申请日期 1995.07.03
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 BOKU SOUHON
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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