发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08172089(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19940313060 申请日期 1994.12.16
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KAGEYAMA SATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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