发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH08172097(A) |
申请公布日期 |
1996.07.02 |
申请号 |
JP19940314830 |
申请日期 |
1994.12.19 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUJIWARA NOBUO;OGINO MASARU |
分类号 |
H01L21/3213;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|