发明名称 DISPOSITIF DE CHAUFFAGE, CHAMBRE DE TRAITEMENT SOUS VIDE POURVUE DE CE DISPOSITIF ET FONCTIONNEMENT D'UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT SOUS VIDE DE CE TYPE
摘要 <P>L'invention concerne un dispositif de chauffage pour une chambre de traitement sous vide, comportant un transformateur de courant de chauffage (3) à l'aide duquel, côté secondaire, un courant de chauffage est généré dans un circuit de chauffage (5). Celui-ci comprend une électrode de chauffage au niveau de laquelle la circulation du courant de chauffage forme une boucle (9, 11) entre des raccordements électriques voisins, ce qui empêche la formation de champs magnétiques. Le circuit (5) est mis à un potentiel ( PHIB ) pour que la partie chauffante puisse être utilisée en même temps comme électrode de traitement.</P>
申请公布号 FR2728725(A1) 申请公布日期 1996.06.28
申请号 FR19950012381 申请日期 1995.10.20
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址