摘要 |
<P>L'invention concerne un dispositif de chauffage pour une chambre de traitement sous vide, comportant un transformateur de courant de chauffage (3) à l'aide duquel, côté secondaire, un courant de chauffage est généré dans un circuit de chauffage (5). Celui-ci comprend une électrode de chauffage au niveau de laquelle la circulation du courant de chauffage forme une boucle (9, 11) entre des raccordements électriques voisins, ce qui empêche la formation de champs magnétiques. Le circuit (5) est mis à un potentiel ( PHIB ) pour que la partie chauffante puisse être utilisée en même temps comme électrode de traitement.</P>
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