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经营范围
发明名称 WAFER EXPANSION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR960005381(Y1) 申请公布日期 1996.06.28
申请号 KR19920018826U 申请日期 1992.10.01
申请人 SAMSUNG AEROSPACE IND. CO., LTD. 发明人 NAM, SOO - KEUN
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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