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发明名称
GALLIUM ARSENIDE ETCHANT
摘要
申请公布号
RU2063095(C1)
申请公布日期
1996.06.27
申请号
RU19930026208
申请日期
1993.05.07
申请人
ZAVOD PRI NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKOM INSTITUTE POLUPROVODNIKOVYKH PRIBOROV
发明人
VOZMILOVA LIDIYA N;MALYAROVA VALENTINA G
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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