发明名称 GALLIUM ARSENIDE ETCHANT
摘要
申请公布号 RU2063095(C1) 申请公布日期 1996.06.27
申请号 RU19930026208 申请日期 1993.05.07
申请人 ZAVOD PRI NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKOM INSTITUTE POLUPROVODNIKOVYKH PRIBOROV 发明人 VOZMILOVA LIDIYA N;MALYAROVA VALENTINA G
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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