| 摘要 |
본 발명은 (i) 화학식 (I)의 유기티타늄 화합물: <화학식 (I)>[여기에서, R, R및 R는 각각 서로 동일하거나 상이하고, 각각 독립적으로 올레핀 또는 알키닐 불포화를 포함하는 유기 치환체에서 선택됨]; R, R, R, R및 R은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 독립적으로 H, C-C알킬 및 올레핀 또는 알키닐 불포화를 포함하는 유기 치환체로부터 선택됨; (ii) 적어도 하나의 트리스(알킬아미노알킬)아민 리간드 및 적어도 하나의 디알킬아민 리간드를 포함하며 상기 알킬은 C-C알킬기인 유기티타늄 화합물; 및 (iii) 사이클로펜타다이에닐 리간드, 및 사이클로펜타다이에닐 이외의 사이클릭 다이에닐 또는 트리에닐 리간드를 포함하는 유기티타늄 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 유기티타늄 화합물에 관한 것이다. 이러한 유기티타늄 화합물은 기재상에 티타늄을 증착하기 위한 기상 증착 공정, 예를 들어 마이크로 전자 장치 및 마이크로 전자 장치 전구 구조체의 제조에 유용하게 사용된다. |
