Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen absoluter Plasmaparameter,申请号DE19944445762-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen absoluter Plasmaparameter
摘要
申请公布号	DE4445762(A1)	申请公布日期	1996.06.27
申请号	DE19944445762	申请日期	1994.12.21
申请人	ADOLF-SLABY-INSTITUT, FORSCHUNGSGESELLSCHAFT FUER PLASMATECHNOLOGIE UND MIKROSTRUKTURIERUNG MBH, 12459 BERLIN, DE	发明人	KLICK, MICHAEL, DR., 12627 BERLIN, DE
分类号	H01J37/32;H05H1/00;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;G01R19/25;G01R23/00	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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