发明名称 Verfahren zur Einstellung einer Abtastungsbelichtungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE3247560(C2) 申请公布日期 1996.06.27
申请号 DE19823247560 申请日期 1982.12.22
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YOMODA, MINORU, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;TSUKAMOTO, IZUMI, TOKYO, JP
分类号 G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00;H01L21/68 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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