Broad beam flux density control,申请号EP19930301143-传众专利搜索

发明名称	Broad beam flux density control
摘要
申请公布号	EP0557067(B1)	申请公布日期	1996.06.26
申请号	EP19930301143	申请日期	1993.02.17
申请人	EATON CORPORATION	发明人	MCINTYRE, EDWARD KIRBY, JR.;BENVENISTE, VICTOR MAURICE;HRYNYK, WALTER
分类号	C23C14/54;C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
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