| 主权项 |
1、用在光学投影系统中的M×N块薄膜驱动反射镜的一种阵列，各该M×N薄膜驱动反射镜能够导致一个入射光束的光径的偏斜，所述阵列包括：一个有源矩阵，包括一块基板、用于将一个偏压带给各薄膜驱动反射镜的一个导线图案、M×N个晶体管的一个阵列，各该晶体管能够将一个电信号提供给各薄膜驱动反射镜，以及M×N个接线端的一个阵列，其中各该接线端是电连接在各晶体管上的；M×N个支承件的一个阵列，各该支承件上设置有一个导管；以及M×N个薄膜驱动结构的一个阵列，各该薄膜驱动结构包含由导电与反光材料制成的一个第一层，具有一个顶面与一个底面的一个电致位移层，由导电材料制成的一个第二层，以及由绝缘材料制成的一个弹性层，第一与第二层分别置于电致位移层的顶面与底面上，弹性层置于第二层的底部，各该驱动结构分成一个近端与一个远端，各该驱动结构的近端固定在各支承件的顶上，各该驱动结构中的第一层是用一个间隙分成一个近端与一个远端的，近端与远端是在物理上与电气上互相隔离的，其近端与导线图案电连接借此使其能作为一个偏压电极工作，而其远端则作为一块反射光束的反射镜工作，并且其中的第二层通过各支承件中的导管电连接在连在晶体管上的接线端上，借此使它能作为一个信号电极工作，其中在第一层的近端与第二层之间的各该驱动结构中的电致位移层上跨越作用的电信号导致其变形，并从而导致包含作为反射镜工作的第一层的远端在内的所述各驱动结构的变形，借此改变入射光束的光径。 |
