发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIRONOSEIZOHOHOOYOBISORENIMOCHIIRUSEIZOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2510053(B2) 申请公布日期 1996.06.26
申请号 JP19910511141 申请日期 1991.06.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONNO JUNICHI;SHINAGAWA KEISUKE;ISHIDA TOSHUKI;ITO TAKAHIRO;KONDO TETSURO;HARADA FUKASHI;FUJIMURA SHUZO
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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