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发明名称 Controlling stages and scanning type exposure
摘要
申请公布号 GB9608311(D0) 申请公布日期 1996.06.26
申请号 GB19960008311 申请日期 1996.04.22
申请人 NIKON CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/68;G03F7/20;G05D3/12;H01L21/027 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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