发明名称 FORMING METHOD FOR BPSG FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR1019960008516(B1) 申请公布日期 1996.06.26
申请号 KR1019930005470 申请日期 1993.03.31
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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