| 发明名称 |
MANUFACTURE OF EPITAXIAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08167584(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940331749 |
申请日期 |
1994.12.09 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
SUGIYAMA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L29/20;H01L21/205;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L29/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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