| 发明名称 |
BURN-IN OF SEMICONDUCTOR WAFER AND TEST METHOD, AND BURN-IN BOARD USED FOR IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08167637(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19950047254 |
申请日期 |
1995.03.07 |
| 申请人 |
AGING TESUTA KAIHATSU KYODO KUMIAI |
发明人 |
KANEKO KAZUO;KATAYAMA MASAYASU;KAWACHI KIYOSHI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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